招股說明書顯示,中巨芯此次沖刺科創(chuàng)板上市計(jì)劃募資15億元,其中12億元用于中巨芯潛江年產(chǎn)19.6萬噸超純電子化學(xué)品項(xiàng)目。
據(jù)悉,超純電子化學(xué)品項(xiàng)目擬投入13.8億元,主要建設(shè)內(nèi)容包括8萬噸/年電子級硫酸、3萬噸電子級氫氟酸、3萬噸電子級硝酸、2.5萬噸電子級氨水、2萬噸電子級雙氧水、1萬噸電子級異丙醇、0.1萬噸電子級混酸,目前該項(xiàng)目仍在建設(shè)當(dāng)中。
天眼查信息顯示,中巨芯成立于2017年12月,由巨化股份和國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金為主投資設(shè)立,主要從事電子濕化學(xué)品、電子特種氣體和前驅(qū)體材料的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。其中,電子濕化學(xué)品包括電子級氫氟酸、電子級硝酸、電子級硫酸、電子級鹽酸、電子級氨水、緩沖氧化物刻蝕液、硅刻蝕液等;電子特種氣體包括高純氯氣、高純氯化氫、高純六氟化鎢、高純六氟二丁烯、高純氟化氫、高純?nèi)淄?、高純八氟環(huán)丁烷、高純八氟環(huán)戊烯等。
電子級氫氟酸領(lǐng)域:中巨芯是國內(nèi)少數(shù)能夠穩(wěn)定批量供應(yīng)12英寸1Xnm(10-20nm)制程的集成電路制造用電子級氫氟酸的企業(yè),其電子級氫氟酸產(chǎn)品被浙江省經(jīng)濟(jì)和信息化廳認(rèn)定達(dá)到“技術(shù)水平國際先進(jìn)且打破國際壟斷”;中巨芯電子級氫氟酸已達(dá)到G5級,截至2022年上半年擁有約54500噸/年的產(chǎn)能。此外,中巨芯旗下浙江凱圣氟化學(xué)有限公司3萬噸/年ppt電子級氫氟酸擴(kuò)建裝置已于2022年年中順利投料試車,產(chǎn)品級別可達(dá)G5級別。
含氟電子特氣領(lǐng)域:中巨芯目前可以實(shí)現(xiàn)4N5純度六氟丁二烯、5N5純度高純六氟化鎢以及5N純度高純氟化氫的量產(chǎn),并正進(jìn)行6N純度高純六氟化鎢的研發(fā);中巨芯已實(shí)現(xiàn)實(shí)現(xiàn)5N純度三氟甲烷、5N純度八氟環(huán)丁烷、4N純度八氟環(huán)戊烯的生產(chǎn)并進(jìn)入客戶端認(rèn)證環(huán)節(jié)。
中巨芯業(yè)務(wù)發(fā)展歷程如下: