據(jù)了解，為確保半導(dǎo)體制造工藝中的關(guān)鍵化學(xué)品氫氟酸（HF）的穩(wěn)定和可持續(xù)供應(yīng)，臺(tái)積電與HF供應(yīng)商合作，用磷肥廢料替代螢石，在不影響原有工藝質(zhì)量的情況下成功生產(chǎn)HF。

截至2023年2月，臺(tái)積電有兩家晶圓廠已應(yīng)用這種環(huán)保氫氟酸，減少了螢石的使用量，二氧化碳排放量減少了12噸，其他臺(tái)積電晶圓廠現(xiàn)在也在試生產(chǎn)中。

臺(tái)積電預(yù)計(jì)在所有晶圓廠引入這種環(huán)保氫氟酸后，可減少12萬(wàn)噸以上的二氧化碳排放量，相當(dāng)于58個(gè)臺(tái)北大安森林公園一年的二氧化碳吸附能力。

電子級(jí)氫氟酸是半導(dǎo)體制造過(guò)程中濕法蝕刻工藝中的關(guān)鍵化學(xué)品，通常以螢石原料。但由于電子級(jí)氫氟酸生產(chǎn)困難且精煉工藝復(fù)雜，在生產(chǎn)過(guò)程中難以減少碳排放。

為了促進(jìn)可持續(xù)發(fā)展，臺(tái)積電自2021年以來(lái)一直與供應(yīng)商合作，評(píng)估氫氟酸替代原材料的可行性。為使質(zhì)量符合半導(dǎo)體工藝標(biāo)準(zhǔn)，臺(tái)積電不僅在來(lái)料階段提前指導(dǎo)供應(yīng)商提供質(zhì)量保證證書(shū)（CoA），更協(xié)助供應(yīng)商開(kāi)發(fā)獨(dú)立的生產(chǎn)線進(jìn)行測(cè)試。經(jīng)過(guò)反復(fù)調(diào)整，臺(tái)積電對(duì)工藝進(jìn)行優(yōu)化，確保后續(xù)生產(chǎn)質(zhì)量處于良好狀態(tài)。

臺(tái)積電與供應(yīng)商合作，利用磷肥廢料生產(chǎn)氫氟酸

臺(tái)積電預(yù)計(jì)2024年底第二條獨(dú)立生產(chǎn)線建成后，螢石消費(fèi)量將進(jìn)一步減少，總碳減排量超過(guò)40萬(wàn)噸。除了提高原材料的品質(zhì)，臺(tái)積電也不斷尋求改善可持續(xù)利用的機(jī)會(huì)。QR事業(yè)部繼續(xù)與各晶圓廠合作，開(kāi)展電子級(jí)硫酸和電子級(jí)異丙醇、氫氟酸氣體的內(nèi)部回收利用。他們還評(píng)估了從廢料中回收氟氣的情況，并指導(dǎo)供應(yīng)商開(kāi)發(fā)相關(guān)技術(shù)，以實(shí)現(xiàn)可持續(xù)資源再生的目標(biāo)。

關(guān)于電子級(jí)氫氟酸

電子級(jí)氫氟酸主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造過(guò)程的清洗和刻蝕等工序，它的純度和潔凈度對(duì)集成電路的良品率、電性能及可靠性都有著十分重要的影響。

電子級(jí)氫氟酸可被分為EL、UP、UP-S、UP-SS、UP-SSS等級(jí)別，其中UP-SSS級(jí)別（相當(dāng)于SEMI G5質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，金屬雜質(zhì)要求≤10ppt）的氫氟酸純度最高，是12寸晶圓及更高規(guī)格的電子半導(dǎo)體產(chǎn)品制造環(huán)節(jié)必須用到的關(guān)鍵材料。

圖片來(lái)源：灼識(shí)咨詢(xún)

據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，我國(guó)電子級(jí)氫氟酸生產(chǎn)企業(yè)約十幾家，產(chǎn)品級(jí)別集中在UP-S及以下，能夠達(dá)到半導(dǎo)體所用G5級(jí)的企業(yè)僅三四家，其中已投產(chǎn)的主要是多氟多（G5）、湖北興力電子（G5）、中巨芯（G5）、濱化股份（G5）。

多氟多目前擁有電子級(jí)氫氟酸產(chǎn)能5萬(wàn)噸/年，其中G5級(jí)別為1萬(wàn)噸/年，目前在建3萬(wàn)噸/年產(chǎn)能（UPSSS），計(jì)劃2023年建成投產(chǎn)。

濱化股份的電子級(jí)氫氟酸項(xiàng)目于2018年7月開(kāi)始試生產(chǎn)，產(chǎn)品達(dá)到G5等級(jí)要求。根據(jù)2021年年報(bào)，濱化股份電子級(jí)氫氟酸產(chǎn)能為6000噸/年。

湖北興力電子是興發(fā)集團(tuán)成員企業(yè)，引進(jìn)臺(tái)灣僑力公司電子級(jí)氫氟酸等技術(shù)，在園區(qū)建設(shè)3萬(wàn)噸/年電子級(jí)氫氟酸項(xiàng)目，該項(xiàng)目一期于2021年上半年投產(chǎn)，產(chǎn)能為1.5萬(wàn)噸/年，產(chǎn)品可以達(dá)到G5級(jí)別，已通過(guò)國(guó)內(nèi)外部分高端市場(chǎng)客戶(hù)的測(cè)試，實(shí)現(xiàn)批量供應(yīng)。

中巨芯是巨化股份旗下公司，其3萬(wàn)噸/年ppt電子級(jí)氫氟酸擴(kuò)建裝置于2022年順利投料試車(chē)，產(chǎn)品達(dá)到G5級(jí)別。